多元融合 高效并发
NANOCHECK系列是基于传统计算机视觉算法与AI深度学习算法优化融合的晶圆缺陷光学检测平台。对光照、对比度、噪点有超强自适应能力;周期性图案、非周期性图案、混合型图案、无图案均能具备轻松应对。
系统配置多个功能模块,一站式、高速、准确检出并定位晶圆缺陷及表面品质问题,在28nm制程 Bright Field (PixSize=50nm) 中检测速度仍可达到9.1 WPH。
· 产品亮点
亮点三:
快速部署升级
· 具备跨平台编译技术,升级效率高,小需求从修改到上线只需要4个小时
· GPU集群可随时叠加
· 预订硬件后2个月内可实现软件首次试运行
算法举例:图像曝光校正
亮点二:
全面国产化技术支持
优势总结